三氟化氮

等离子蚀刻气体三氟化氮泄漏监测方法及国家标准解读

等离子蚀刻气体三氟化氮泄漏如何监测？三氟化氮泄漏主要通过固定在线式气体检测报警仪进行实时监测，该设备可24小时连续检测空气中NF₃浓度，并在超标时自动报警与联锁通风，有效防止人员中毒和爆炸事故。